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受託業務

受託業務

高純度の超純水を安定的にご使用いただくために、超微量分析は欠かせません。

野村マイクロ・サイエンスは超純水水質を限りなく低濃度で分析評価する技術に挑戦しています。 金属・イオンはppt~ppq(1リットル中に1ナノグラム~1ピコグラム)レベル濃度の分析を行っています。
超高純度分析を扱う環境として、微粒子状・ガス状汚染のないクリーンルームで行なっています。 分析機器としてICP-MS、GF-AAS、イオンクロマトグラフィー、電子顕微鏡-EDX(エネルギー分散型X線分析装置)、全有機炭素計、P&T-GC-MSなどを備えています。 超微量分析のノウハウを活かし、超純水や高純度薬品中の不純物分析、材料中の微量不純物分析、高純度を要求される容器や材料からの溶出評価など多様なニーズに応じた評価・分析を受託いたします。

水質分析項目
項目・元素 分析方法
微粒子(粒子径≧0.1μm、≧0.05μmなど) 直接検鏡法(電子顕微鏡)パーティクルカウンター法
生菌 培養法
全シリカ 濃縮-GF-AAS
ホウ素 ICP-MS
金属(Na,Fe,Cuなど) ICP-MS
イオン(Cl-,SO42-,NH4+など) イオンクロマトグラフィー

その他の分析項目
項目 摘要
製薬用純水・ピュアスチーム水等 日本薬局方による分析 (エンドトキシンなど)
高純度材料中不純物など 研磨スラリーの粒子径分布・金属不純物、試薬中金属
各種表面形状観察・元素組成分析 走査型電子顕微鏡-X線分析(SEM-EDX)
高純度容器・材料からの溶出など 配管材料・ウェハ容器などからの溶出(超純水浸漬による金属・イオン・有機物・微粒子など)イオン交換樹脂性能評価

国際規格ISO/IEC17025取得について

ISO/IEC17025

当社、分析センターでは「超純水中の極微量元素分析」に関して、 試験所認定制度の国際規格であるISO/IEC17025の認定をペリージョンソンラボラトリーアクレディテーションインク(PJLA)より取得しました。 ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductor) に規定されております主要な金属元素及びホウ素の14元素の分析で、 定量下限値1~500ng/Lの範囲で取得しております。詳細は認定証をご覧下さい。
この認定は当該試験所(分析機関)が認定範囲の分析において、信頼性の高い分析を行う能力があることを第三者機関(ISO/IEC17025認定機関)によって 国際的に認められたことを示しております。

ISO/IEC17025(試験所等の能力に関する一般要求事項)について

ISO/IEC17025では、試験所がマネジメントシステムを運営し、 技術的に適格かつ妥当な結果を出す能力があることを実証する為に満たさなければならない要求事項が規定されております。
この認定を取得する事により、ISO/IEC17025への適合だけでなく、ISO9001に従った運営と、試験機関の技術的能力に関する妥当性の両方が保証されます。
認定は、ILAC及びAPLACと相互承認に調印しているペリージョンソンラボラトリーアクレディテーションインク(PJLA)より取得しました。 当社、分析センターは国際的に信頼される分析機関として、妥当性のある分析結果をお客様に提供してまいります。