RCモニター(RETURN CONTAMINATION MONITOR)は、超純水装置のリターンラインで、何らかの原因で混入した汚染物質が、ユースポイントで使用中の超純水まで汚染してしまうことを防止するためのモニターです。 応答速度は1分以内を達成し、イオン、TOC(全有機炭素)、DO(溶存酸素)、H2O2(過酸化水素)による汚染を同時に監視することができ、一台で、リターン水による超純水の汚染を未然に防止します。
RCモニター