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計測機器

高速汚染検出モニター RCモニター

RCモニターR
RCモニター

RCモニター(RETURN CONTAMINATION MONITOR)は、超純水装置のリターンラインで、何らかの原因で混入した汚染物質が、ユースポイントで使用中の超純水まで汚染してしまうことを防止するためのモニターです。
応答速度は1分以内を達成し、イオン、TOC(全有機炭素)、DO(溶存酸素)、H 2O2(過酸化水素)による汚染を同時に監視することができ、一台で、リターン水による超純水の汚染を未然に防止します。

    特長
  • 応答速度 1分以内
  • イオン、TOC、DO、H2O2による汚染を一台で管理
  • リターン水からの汚染監視モニターとして最適
適用方法

超純水用H2O2モニター NOXiEMON®

超純水用H2O2モニター NOXiEMON
超純水用H2O2モニター
NOXiEMON®

超純水用の新型過酸化水素(H2O2)モニターです。当社が開発したN-Lite® DEP(酵素担持樹脂)を使用することで、世界で初めて薬品を使用しないH2O2モニターを実現しました。

    標準仕様
  • 測定方法:N-Lite® DEP+DO計
  • 寸法:600×600×1200mm
  • 重量:約100kg
  • 測定上限:60ppb
  • 測定下限:0.3ppb(DOの変動が0.1ppb以内の場合)
  • 付帯機能:自己診断機能、自動フラッシングスタート
    特長
  • シンプルな測定原理(特許出願中)

    N-Lite® DEPによりH2O2をO2に分解し、発生したO2をDO計で計測します。

  • 薬品が不要

    添加薬品を使用しないため、メンテナンスが容易です。

  • 超純水に最適

    N-Lite® DEPによりTOC-UVで発生するH2O2も妨害物質なく測定できます。

  • 自己診断機能付(特許出願中)

    N-Lite® DEPの劣化を自動判定する機能を搭載しています。

過酸化物モニター ノキシア®/NOXIA®

過酸化物モニター ノキシア/NOXIAR
過酸化物モニター
ノキシア®/NOXIA®

これまで測定できなかったppbレベルの微量の過酸化物(H2O2、O3、etc.)をオンラインで測定します。 プロセス供給水の過酸化物を監視することにより、揺らぎのないプロセスが可能となります。

ラインナップ
型式 測定レンジ(ppb)
NOXIA-LⅡ 0~25
NOXIA-L 0~200
NOXIA-M 0~5,000
NOXIA-H 0~50,000
    仕様
  • 測定方法:ヨウ素電極滴定法
  • 測定サイクル:約6分
  • 寸法:380×330×1300mm
  • 重量:約50kg