AQURUS®／アクラス®

シリコン排水回収装置「AQURUS®／アクラス®」は、半導体、太陽電池等の研磨工程で発生したシリコン粒子を含有する排水から、シリコン粒子と水を同時に回収する装置です。
他にも、化合物半導体、フラットパネルディスプレイ（FPD)、ガラス基板の研磨工程で発生する粒子（GaAs、ガラス屑）を含む排水も回収可能です。
回収後の粒子（シリコン、GaAs、ガラス屑）は有価回収も可能です。

• 薬品を使用せず、短時間で処理ができるため、シリコンと水の純度を保ったまま回収できます。
• 従来装置と比べて、省スペースで設置できます。
• 以下工程後の排水処理が可能です。

＊インゴットの外周研削工、円筒加工工程
• ＊ウェハ等の薄膜化、ダイシング、ラッピング、チッピング、バックグラインディング

アクラス®の基本構成は以下の通りです。