超純水帯電防止装置 スーパーバブラーWAC

超純水中に定量的に炭酸ガスを溶解させ、超純水の電気比抵抗を正確にコントロールし、半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電障害を防止します。従来機種に比べ軽量かつコンパクトになっています。洗浄装置へ組込可能なラック型と炭酸ガス・ボンベを2本内蔵できるキャビネット型があります。

直接注入式のため排気ガスや排水を一切出さない構造です。

特長

  • 超純水量流量 200~1000/h、200~2000/h、300~3000/h
  • 制御可能比抵抗範囲 0.11~1.9MΩcm
  • 制御精度 設定比抵抗値±0.03MΩ・cm(流量・水圧一定時)
  • 電源 AC100~130V、AC220~240V、50/60Hz、1A
  • 寸法
    • ラック型 W480mm×D430mm×H250mm
    • キャビネット型 W430mm×D430mm×H1350mm

超純水帯電防止装置
スーパーバブラーWAC