超純水帯電防止装置スーパーバブラーWAC

超純水中に定量的に炭酸ガスを溶解させ、超純水の電気比抵抗を正確にコントロールし、半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電障害を防止します。従来機種に比べ軽量かつコンパクトになっています。洗浄装置へ組込可能なラック型と炭酸ガス・ボンベを2本内蔵できるキャビネット型があります。

直接注入式のため排気ガスや排水を一切出さない構造です。