> 製品・サービス情報 > プロセス機器・機能商品 > 機能水装置

機能水装置

NOMUREXON®(ノムレクソン)は超純水に特定のガスを溶解させた機能水を製造する装置です。
半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD) 、太陽電池、MEMS等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。

オゾン水装置 NOMUREXON®O3

オゾン水装置 NOMUREXON
オゾン水装置 NOMUREXON®O3
    特長
  • オゾンガスを溶解させたクリーンで立上りの速いオゾン水を供給します。
  • 独自の技術で、150ppm以上の高濃度オゾン水も供給可能です。
  • オゾン水濃度計、環境オゾンガス検知器を標準装備しております。
    仕様
  • オゾン水流量:5~20ℓ/min
  • オゾン水濃度:5~20ppm at 20℃ (標準タイプ)
    ≧30ppm at 20℃ (高濃度タイプ)

水素水装置 NOMUREXON®H2

    特長
  • 水素ガスを溶解させたクリーンな水素水を供給します。
  • 水素水濃度計、環境水素ガス検知器を標準装備しております。
    仕様
  • 水素水流量:5~40ℓ/min
  • 水素水濃度:1.2~1.6ppm at 20℃
  • オプション:アルカリ(アンモニア水)供給添加装置
*その他の機能水装置(酸素水、窒素水)については別途お問合せ願います。

超純水帯電防止装置 スーパーバブラーWAC

超純水帯電防止装置 スーパーバブラーWAC
超純水帯電防止装置
スーパーバブラーWAC

超純水中に定量的に炭酸ガスを溶解させ、超純水の電気比抵抗を正確にコントロールし、半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電障害を防止します。従来機種に比べ軽量かつコンパクトになっています。洗浄装置へ組込可能なラック型と炭酸ガス・ボンベを2本内蔵できるキャビネット型があります。

直接注入式のため排気ガスや排水を一切出さない構造です。

    仕様
  • 超純水量流量 200~1000/h、200~2000/h、300~3000/h
  • 制御可能比抵抗範囲 0.11~1.9MΩcm
  • 制御精度 設定比抵抗値±0.03MΩ・cm(流量・水圧一定時)
  • 電源 AC100~130V、AC220~240V、50/60Hz、1A
  • 寸法
     ラック型 480mm幅×430mm奥行×250mm高
     キャビネット型 430mm幅×430mm奥行×1350mm高