ミニピュアシリーズ

ミニピュアシリーズは、水道水中の不純物を取り除き、簡単に純水、超純水を供給するパッケージ型装置です。 複雑な設定が不要で、設置後すぐに利用できます。
オーダータイプの装置に比べ、短工期、低価格、省スペースなど、あらゆる面でコストパフォーマンスに優れています。
半導体を始め、FPD（フラットパネルディスプレイ）基板や、電子基板の洗浄用として十分に対応可能な純水、超純水を供給します。

• 非再生イオン交換ボンベと、フィルターで構成された純水製造装置です。

• 研究室用純水、実験室用純水

• 非再生イオン交換ボンベを多段に配置し、ファイナルフィルターがMF膜で構成された超純水製造装置です。

• 研究室用純水、実験室用純水、電子産業用洗浄水

• 活性炭と低圧運転の逆浸透膜で構成された、低ランニングコストの純水製造装置です。イオン交換樹脂の入ったボンベやフィルターなど、オプションの取り付けも容易で、更に純度の高い純水も供給可能です。

• クリーンルーム加湿用水、ボイラー用水、研究室用純水、実験室用純水、電子産業用洗浄水

• 逆浸透膜とイオン交換ボンベで構成された純水製造部と、紫外線殺菌器とイオン交換ボンベとＵＦ膜で構成された超純水製造部を、ワンパッケージに納めたコンパクトな超純水製造装置です。
• 水道水中のイオン成分、有機成分、シリカ成分などを除去し、なおかつ生菌や微粒子までも高度に除去された超純水を供給します。

• 研究室用純水、実験室用純水、電子産業用洗浄水、FPD基板洗浄水、半導体基板洗浄水

• 供給能力が、1m³/h～3m³/hのため、試作工場向けの超純水設備に最適です。

• 膜式前処理、活性炭、逆浸透膜、イオン交換ボンベで構成された純水製造装置です。メンテナンス性に優れ、なおかつ、懸濁物質、イオン成分、有機成分、シリカを除去し、不純物の少ない一次純水を供給します。

• 有機物を分解するTOC-UVとイオン交換ボンベとUF膜で構成された超純水製造装置です。原水は、TW-Lで製造された一次純水とし、すべての不純物濃度がppbレベルまで低減された高純度な超純水を供給します。

• 電子産業用洗浄水、FPD基板洗浄水、半導体基板洗浄水