純水・超純水装置

純水装置は、イオン交換装置、脱炭酸装置、逆浸透膜装置、紫外線酸化装置、脱酸素装置で組み合わされる一次純水装置と、紫外線酸化装置、イオン交換装置、限外ろ過膜装置で組み合わされる超純水装置から構成されています。また、近年では、資源・環境の面から使用済みの超純水（回収水）を処理する装置も加えられる場合もあります。

野村マイクロ・サイエンスの純水装置では、当社独自の技術を付加した様々な装置を組み合わせることで要求水質に合わせた最適なシステムを提案しております。一次純水装置内に組み込まれる脱炭酸装置では、CO₂と合わせて水中の揮発性有機化合物も同時に除去可能なN-VOICER^®があります。
イオン交換装置では、カチオン塔＋N-VOICER ^®＋アニオン塔（2床3塔）を始め、多様な装置があります。
逆浸透膜装置には、水の回収率が90％以上でさらにイオン、TOC（Total Organic Carbon）の除去率が極めて高いHERO^®／ヒーロー^®があります。紫外線酸化装置では、二段階処理により水中の有機物分解効率を高めたツインTOC-UVがあります。また、紫外線酸化装置では供給水中の有機物濃度に合わせて分割点灯を行うことで、過剰照射を防止し、水質の安定とランニングコスト低減も可能となっております。脱酸素装置は、酸素を極めて低いレベルまで除去可能なHE-VDGがあります。また、極めて純度の高い高性能イオン交換樹脂や高性能限外ろ過膜を使用しています。
使用済みの超純水を回収する装置には、オゾン酸化を利用した高効率有機排水処理装置オゾンステージア（O₃ STAGER^®）があります。この装置を組み込むことにより高純度で安定した超純水を供給することができます。

また、逆浸透膜装置と電気再生式イオン交換装置を組み合わせたノンケミカル装置は、イオン交換樹脂の再生剤である酸やアルカリなどの薬品を使用しないことから低環境負荷や高安全性に寄与いたします。

【ノンケミカル装置の一例】