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純水・超純水装置

純水装置は、イオン交換装置、脱炭酸装置、逆浸透膜装置、紫外線酸化装置、脱酸素装置で組み合わされる一次純水システムと、紫外線酸化装置、イオン交換装置、限外ろ過膜装置で組み合わされる超純水システムから構成されています。また、近年では、資源・環境の面から使用済みの超純水(回収水)を処理する装置も加えられる場合もあります。

純粋装置一例

野村マイクロ・サイエンスの純水装置は、以下の水質向上化機能を備えた特徴的な装置が組み合わされています。一次純水システムの脱炭酸装置には、CO2に合わせて水中の揮発性有機化合物も除去可能なN-VOICER®があります。
イオン交換装置には、カチオン塔+N-VOICER®+アニオン塔(2床3塔)を始め、多様な装置があります。 逆浸透膜装置を改良した、水の回収率が90%以上でさらにイオン、TOC(Total Organic Carbon)の除去率を最大限に高めたHERO®/ヒーロー®があります。 紫外線酸化装置は、水中の有機物分解効率を高めたツインTOC-UVがあります。また、紫外線酸化装置供給水の酸化還元電位、誘導率、pHを調整することにより、水中の有機物分解能力を高めたSpecial TOC-UVも取扱っています。脱酸素装置は、酸素を極めて低いレベルまで除去可能なHE-VDGがあります。また、極めて純度の高い高性能イオン交換樹脂や高性能限外ろ過膜を使用しています。
さらに耐熱イオン交換樹脂も使用可能です。使用済みの超純水を回収する装置には、クリーンなオゾン酸化を利用した高効率有機排水処理装置オゾンステージア(O3 STAGER®)があります。これらの装置を組み合わせることにより高純度で安定した超純水を供給することができます。