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薬品精製モジュール

微量金属除去フィルター
微量金属除去フィルター

微量金属除去フィルターとは、半導体、フラットパネルディスプレー(FPD)製造工程に使用される薬液・スラリーから、母液成分を変化させることなく通液させるだけで、選択的に金属を除去するフィルターです。
充填材として、独立法人日本原子力研究開発機構、倉敷繊維加工株式会社と共同開発したイオン交換繊維を使用しています。

    特長
  • あらゆる金属形態に対する高い選択除去性
  • 半導体、FPD向け強酸、強アルカリ、酸化剤の各種薬液や研磨スラリーでも効果を発揮
  • サブppb~ppbレベルまでの高い金属除去性能
  • 溶出成分が極めて少なく、薬液性状の変化なし
    導入効果
    ◆コストダウン
    薬液ロットバラツキ低減、半導体製造工程内での汚染度軽減→歩留向上
    ◆品質
    低純度薬液の高純度化
    次世代デバイスに向けた更なる薬液の高純度化
    ◆環境負荷低減
    廃液のリサイクル