こんな課題はありませんか?まずはお問い合わせください。 野村マイクロ・サイエンスは剥離・洗浄技術「RSシリーズ」分析技術であなたの課題を解決まで導きます! レジスト剤やコート剤に合わせ剥離、浸透、膨潤、溶解、分散、分解、立体障害などカスタマイズした剥離液や洗浄液ができないか? 企業や開発プロジェクトで環境負荷がなく、使用上安全な剥離剤や洗浄剤を探しています 現状や今後使用する基板や薄膜・金属材質にダメージや残留のない洗浄・剥離工程を実現したい

私たち野村マイクロ・サイエンスはこんな会社です

野村マイクロ・サイエンス

生命維持・産業基礎資源の「水」をテーマに
「理論純水」を頂点とする水処理技術の
応用研究と環境対策に配慮した研究開発
を行う企業です。

企業の総合力

技術力、営業力、サポート力が一体。
業界随一の分析技術を誇り、グローバルな
展開を図り、地域密着・ユーザー密着の
独自の体制をとっています。

国内拠点・子会社

神奈川県厚木市に本社を構え、国内16か所
の営業拠点と国内・韓国・台湾・中国・
アメリカに6つの子会社を持っています。

環境への取り組み

「水の星・地球」を未来に伝えるために、
環境に優しい企業を目指します。
・国際規格ISO14001/9001認定取得
・国際規格ISO/IEC17025認定取得
(信頼性の高い分析能力の認定)

お客様をサポートする評価環境や「RSシリーズ」剥離剤について

充実した評価環境!

フォトレジストのスピンコート、露光、ベーク、
現像、エッチング、剥離まで行うことができます。

また、各種薬液に対応したマニュアルドラフト、
超音波洗浄機、オゾン水や水素水など機能水装置
による評価環境も整えています。

写真:評価用 クリーンルーム
   フォトリソ関連及び各種設備・機器など

欠陥検査装置により、ウェハやガラス上の残渣や異物などを見ることができます。

また、光学顕微鏡、液中検査用ツールなど評価環境を整えています。

写真:評価用 クリーンルーム
   欠陥検査装置

走査型電子顕微鏡-X線分析(SEM-EDX)による
各種表面形状観察・元素組成分析や
ICP質量分析(ICP-MS)による溶液中の金属不純物などの分析を行うことができます。

写真:分析センター
   走査型電子顕微鏡など

剥離速度が速く、圧倒的なダメージレス性能

レジスト剥離速度比較

※従来品との比較

従来剥離剤:1 準水系剥離剤:0.75 RSシリーズ:1.9

レジスト剥離後のCu表面

※従来品との比較

Cuなど腐食性の高い金属表面のダメージがなく、レジスト剥離ができる

金属配線材料の溶解速度比較表

※従来品との比較

Cuなど腐食性の高い金属表面のダメージがなく、レジスト剥離ができる

安全性が高く、省エネ

昇温エネルギー従来剥離剤を1とした場合

※従来品との比較

従来剥離剤:1 準水系剥離剤:0.975 RSシリーズ:0.86 省電力化

昇温にかかるエネルギーが小さくできるため、省電力化による環境負荷低減につながります。

優れた運用性能比較

※従来品との比較

沸点や引火点が高く、人体に対する影響も小さいため、安全性にお使いいただけることができます。
※PRTR法 特定化学物質の環境への排出量の把握等及び管理の改善の促進に関する法律

環境省ホームページへ
https://www.env.go.jp/chemi/kurohon/http1999/sec2_1.html 

使用例:液晶パネル洗浄

RSシリーズ使用例 大型液晶パネルのレジスト剥離

ほかにもあります、こんな特長

野村マイクロ・サイエンスの成果事例をご紹介

地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所の技術支援を利用して
フラットパネル・ディスプレイ用レジスト剥離液
NOMULITE™UMS(アムス)の開発を行いました。

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技術企画部 機能商品グループ
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