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事業概要

水処理装置事業

当社グループは、水処理装置事業を主力事業として、半導体及び液晶関連を中心に、各種用途向けの超純水製造装置及び排水処理装置の設計・施工・販売のほか、納入した装置のメンテナンス並びに装置に付帯するカートリッジフィルター、イオン交換樹脂等各種消耗品の販売、水質分析の受託等を行っております。

これらは、当社が国内ユーザー及び海外ユーザーに直接販売しているほか、子会社の株式会社野村マイクロ・サイエンス コリアは韓国、上海野村水処理工程有限公司は中国、 野村マイクロ・サイエンス USA Ltd.,Coはアメリカ、野村微科學工程股份有限公司は台湾の各ユーザーに対し、それぞれ販売を行っております。

当社グループは、半導体製造技術の高度化・微細化に伴う要請に応えるべく、原水中の不純物を除去する前処理から超純水製造工程までを一貫して構築するとともに、 環境負荷を軽減し、限られた水資源の有効利用に資する排水・回収処理システムを提供しております。

また、近年では顧客企業の設備投資負担の軽減に対するニーズが高まる中で、当社が設備を保有し、超純水を提供するBOOM(ブーム、注)契約も水処理装置事業に含まれております。 なお、最先端デバイスの各製造工程で超純水を使用するケースは、次のとおりであります。

(注) Build Own Operate and Maintenanceの略であります。 また、BOOM契約とは、当社がユーザーに超純水装置を提供し、ユーザーが使用した超純水の使用料を支払う契約であり、 装置の運転管理・メンテナンスは全て当社が行っております。

最先端デバイスの製造工程例 超純水製造工程の概要

超純水製造処理装置システムの構成

前処理システム

原水中の懸濁物質の除去を行い、一次純水システムに低濁質の水を安定供給するものであり、凝集沈殿装置、ろ過塔、膜前処理装置等が主要構成機器となります。

膜前処理装置
膜前処理装置
砂ろ過塔
砂ろ過塔
一次純水システム

前処理水に含まれる不純物の除去を行い、高純度な純水に処理するシステムであり、活性炭塔、イオン交換樹脂塔、逆浸透膜装置、電気式イオン交換装置、有機物分解装置、脱ガス装置等が主要構成機器となります。

電気式イオン交換装置
電気式イオン交換装置
逆浸透膜装置
逆浸透膜装置
二次純水システム

一次純水システムに含まれる不純物をさらに除去し、要求されている超純水水質まで高めるシステムであり、 有機物分解装置、非再生型イオン交換樹脂塔、限外ろ過装置等が主要構成機器となります。

有機物分解装置
有機物分解装置

その他の事業

当社は、その他の事業として、国内ユーザー及び海外ユーザーに対し高純度薬品・配管材料等の販売を行っておりますが、 高純度薬品は超純水製造装置システムを構成する各種装置の安定化運転等に資するものであり、配管材料は主に半導体産業向けの化学薬品移送用に適したものであります。

事業系統図

事業系統図