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 高純度の超純水を安定的にご使用いただくために、超微量分析は欠かせません。
野村マイクロ・サイエンスは超純水水質を限りなく低濃度で分析評価する技術に挑戦しています。金属・イオンはppt〜ppq（1リットル中に1ナノグラム〜1ピコグラム）レベル濃度の分析を行っています。
超高純度分析を扱う環境として、微粒子状・ガス状汚染のないクリーンルームで行なっています。分析機器としてICP-MS、GF-AAS、イオンクロマトグラフィー、電子顕微鏡-EDX（エネルギー分散型X線分析装置）、全有機炭素計、P&T-GC-MSなどを備えています。
超微量分析のノウハウを活かし、超純水や高純度薬品中の不純物分析、クリーンルーム環境評価、材料中の微量不純物分析、高純度を要求される容器や材料からの溶出評価など多様なニーズに応じた評価・分析を受託いたします。
また微量分析には欠かせない分析用超純水も販売いたします。 |
| 分析メニュー半導体用超純水 不純物濃度分析 |
| 項目・元素 |
分析方法 |
| 微粒子(粒子径≧0.1μm、≧0.05μmなど) |
直接検鏡法(電子顕微鏡)
パーティクルカウンター法 |
| 生菌 |
培養法 |
| 全シリカ |
濃縮-GF-AAS |
| ホウ素 |
ICP-MS |
| 金属(Na,Fe,Cuなど) |
ICP-MS |
| イオン(Cl-,SO42-,NH4+など) |
イオンクロマトグラフィー |
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| その他分析メニュー |
| 項目 |
摘要 |
| 製薬用純水・ピュアスチーム水等 |
日本薬局方による分析 (エンドトキシンなど) |
| クリーンルーム環境評価 |
インピンジャー法によるイオン、金属、ホウ素、有機物 |
| 高純度材料中不純物など |
研磨スラリーの粒子径分布・金属不純物、試薬中金属 |
| 各種表面形状観察・元素組成分析 |
走査型電子顕微鏡-X線分析(SEM−EDX) |
| ウェハ清浄度評価 |
VPD法による金属、超純水浸漬によるイオン |
| 高純度容器・材料からの溶出など |
配管材料・ウェハ容器などからの溶出(超純水浸漬による金属・イオン・有機物・微粒子など)
イオン交換樹脂性能評価 |
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分析についてのお問合せ：
分析センター TEL：046-228-2466
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