洗浄機
全自動レジスト塗布カップ洗浄機
全自動レジスト塗布カップ洗浄機
RCクリン RC-300
次世代の洗浄液アムス®（UMS）を使用するレジスト塗布カップの自動洗浄機です。内蔵のオゾン装置によるアムス®(UMS）の装置内リサイクルを行い、アムス®（UMS）交換まで8inchカップで100から200カップ洗浄できます。汚れたレジストカップを装置内に投入し洗浄から乾燥まで約1時間で自動処理します。今までと比較して大幅な薬液の減容化と洗浄の手間を省くことが可能です。
アムス®（UMS）は炭酸エチレンがベースの薬液で容易にレジストを溶解します。消防法に該当しない安全な薬液です。
-
仕様
- 電源 AC200V、50/60Hz、16A
- レジスト塗布カップ 300mm以下
- 供給精度 設定濃度±0.05wt％
- 寸法 810mm幅×805奥行×1930mm高
