NOMUREXON®(ノムレクソン)は超純水に特定のガスを溶解させた機能水を製造する装置です。 半導体、FPD(フラットパネルディスプレイ)、太陽電池、MEMS(微小電気機械装置)等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。
オゾン水装置 NOMUREXON®O3