オゾン水装置 NOMUREXON®O3

NOMUREXON®(ノムレクソン)は超純水に特定のガスを溶解させた機能水を製造する装置です。
半導体、FPD(フラットパネルディスプレイ)、太陽電池、MEMS(微小電気機械装置)等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。

特長

  • オゾンガスを溶解させたクリーンで立上りの速いオゾン水を供給します。
  • 独自の技術で、150ppm以上の高濃度オゾン水も供給可能です。
  • オゾン水濃度計、環境オゾンガス検知器を標準装備しております。

仕様

  • オゾン水流量:5~40ℓ/min
  • オゾン水濃度:20~50ppm~150mg/ℓ(25℃)

オゾン水装置 NOMUREXON®O3