ニュクリポアー・メンブレン

直接検鏡法は、ニュクリポアー・メンブレンによるサンプルのろ過、同メンブレン上に捕集された微粒子の染色、光学顕微鏡による観察、計数の手順によって0.2ミクロン以上の微粒子を定量的に測定することができます。
本測定法は、半導体工業で使用する超純水中の微粒子測定法として各社で幅広く使用されるとともに、JISK0554-1995に採用されています。